国家十三五重点研发计划重大科学仪器设备开发项目《超光滑表面无损检测仪》启动会在成都成功召开

国家十三五重点研发计划重大科学仪器设备开发项目《超光滑表面无损检测仪》（项目编号：2016YFF0101900）,由成都太科光电技术有限责任公司牵头联合国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施，该项目于2016年10月9日在成都召开，项目进入正式实施阶段。

《超光滑表面无损检测仪》项目拟研制用于非透明物体超光滑表面及具有多层超光滑平行反射面透明物体的纳米级表面形貌高精密测量的超光滑表面无损检测仪。

将连续变波长调谐激光器、波长调谐解相算法、多表面干涉条纹分离算法以及干涉集成测试系统相结合形成具有自主知识产权、功能健全、质量稳定可靠的测试口径尺寸Φ150 mm超光滑表面无损检测仪，同时仪器预留扩束接口，使仪器性可提升到Φ300mm大口径测试。项目预期研制Φ150mm超光滑表面无损检测仪产品，取得或申请发明专利、软件著作权、相关标准等25项相关知识产权，预计发表相关论文20余篇。

项目牵头单位成都太科光电技术有限公司是国内专业从事集高精度光学干涉检测仪器研发、生产和销售于一体的高新技术企业。公司具有一支从事光学设计、软件开发、机械设计、电子控制等专业齐全、产品研制经验丰富的专业研发与产业化团队。对拟研项目公司具有系统设计、系统集成与装校、波长调谐分析算法与仪器分析软件等全方面的技术基础，同时在测试仪器的产品化、产业化与市场推广方面具有推广基础。与八家参研单位形成产、学、研、用一体化项目研发团队，对于保证项目实施和顺利完成提供了人才保障。

启动会专家合影

专家组参观公司

INF300-LP双端口激光平面干涉仪  

INF100-LP/LS激光球面干涉仪

项目完成后，形成具有自主知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展提供必须的工艺路线，并利用产品价格优势，扩大市场占有率。预计项目验收后三年内，完善仪器产品化所有流程，基本形成产品化的标准工艺流程，企业产值实现上亿元。

项目仪器研制的成功，在取得重大技术进步与巨大经济效益的同时还会产生广泛的社会效益。首先可以提高国内测试仪器的技术水平；其次实现仪器自主化，替代进口，降低成本；再有项目仪器的研制还可以带动国内相关产业发展。超光滑表面无损检测仪将在半导体照明、太阳能新能源，高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路以及国家重大光学工程等相关行业和领域得到广泛的应用。改变现在采用的接触式测量方式，大大提高检测精度和测试效率。