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平面光学元件表面面型测量
结构紧凑,小型化,防尘效果好
测量方式:菲索干涉原理
通光口径:Φ60mm
测试波长:635nm(半导体激光器)
对准方式:简单两点对准
对准视场:±0.5度
平面标准镜精度:PV:λ/20