波长调谐式干涉条纹分析系统

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机械相移分析系统主要通过压电陶瓷在较高电压作用下产生一定的伸缩变形，从而带动反射镜产生微小的平移，改变光程形成干涉，利用专门算法还原被检件的波面信息,具有测量精度高、测量重复性好的特点。