测试结构：斐索干涉立式结构；

测试光源：波长调谐激光器（λ=632.8nm）

测试口径：φ300mm

CCD：分辨率≥2.3K×2.3K

被测件直径：≤425mm

被测件重量：≤40kg

Z轴行程范围：≥850mm

Z轴分辨率：≤150nm

X/Y行程范围：±25mm

X/Y分辨率：≤100nm

偏摆/俯仰行程范围：±13mrad（±0.75°）

偏转/俯仰分辨率：0.1µrad

球面测试腔波前测量重复性：≤0.95nm

300mm平面测试腔波前测量重复性：≤0.65nm

仪器传递函数：≥ 60%@1/2 Nyquist

尺寸（宽×深×高）：≤2.4m×2.8m×3.0m

球面标准镜TS-F0.82，r=225mm，D=274mm，标准面精度PV≤79nm；

球面标准镜TS-F1.2，r=360mm，D=300mm，标准面精度PV≤63nm；

球面标准镜TS-F1.6，r=489mm，D=306mm，标准面精度PV≤63nm；

球面标准镜TS-F2.45，r=749mm，D=306mm，标准面精度PV≤63nm。