中大口径光学元件平面面型精度测量 对干涉条纹进行数据分析处理,给出检验报告
成像质量良好,结构简洁
立式结构
操作方便,使用简单
中大口径光学元件平面面型精度测量
对干涉条纹进行数据分析处理,给出检验报告
测量结构:斐索干涉立式结构
通光口径:Φ200mm
光源波长:632.8nm(进口氦氖激光光源)
数字CCD:1280×960
平面标准镜:材料:熔石英;PV:λ/20
对准方式:两点对准
相移方式:机械相移
对准视场:±2°